Spezialkeramiken

Saphir
Saphir ist ein Einkristall-Aluminiumoxid, ein transparentes Material von ausgezeichneter chemischer Stabilität, das wertvolle mechanische, thermische und optische Eigenschaften aufweist. Seine Materialeigenschaften sind denen von Glas, Quarz und anderen in Massen produzierten transparenten Materialien weit überlegen.

Cordierit
Cordierit ist ein extrem leichter Werkstoff mit niedriger Wärmeausdehnung und ausgezeichneter Festigkeit, Steifigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit.

Yttriumoxid
Mit seiner ausgezeichneten Plasmabeständigkeit eignet sich dieser Werkstoff für Anwendungen in Halbleiterverarbeitungsanlagen, in denen Partikelverunreinigungen vermieden werden müssen. Er trägt zur Produktivitätssteigerung bei, indem er den Aufwand für die Anlagenwartung reduziert.

Aluminiumnitrid
Mit Eigenschaften wie elektrischer Isolierung und hervorragender Wärmeleitfähigkeit eignet sich Aluminiumnitrid für Anwendungen, in denen Wärme abgeführt werden muss. Da es außerdem einen ähnlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten (WAK) wie Silizium und eine ausgezeichnete Plasmabeständigkeit aufweist, wird dieser Werkstoff zur Herstellung von Komponenten für Halbleiterverarbeitungsanlagen verwendet.

Cermet
Cermets sind Verbundwerkstoffe, die hauptsächlich aus TiC oder TiN und NbC in Verbindung mit Metallen wie Co, Ni oder Mo bestehen. Bei ausgezeichneter Verschleißbeständigkeit hat Cermet eine geringere Haftung an Metall und wird verbreitet zur Herstellung von Schneidwerkzeugen, verschleißfesten Werkzeugen für die Elektronikfertigung sowie Gleitstücken verwendet. Cermet kann auch mit Metall hartverlötet werden.

Mullit
Ausgezeichnete Wärme- und Temperaturwechselbeständigkeit sowie besonders gute Kriechfestigkeit. Sein Wärmeausdehnungskoeffizient entspricht ungefähr dem eines Silizium-Halbleiterchips.

Steatit
Steatit hat hervorragende elektrische und mechanische Eigenschaften und lässt sich gut mechanisch bearbeiten.

Forsterit
Forsterit zeichnet sich durch geringe Mikrowellenverluste, ausgezeichnete Isolierung bei hohen Temperaturen sowie eine glatte Oberfläche aus und ist damit zur Herstellung von Elektronenröhrenteilen und Schaltungssubstraten geeignet. Wegen seines hohen Wärmeausdehnungskoeffizienten verbindet sich Forsterit leicht mit Metall und Glas.

Scroll to top