Chamber Window
Kyoceras hochreines Saphirmaterial: hitze- und plasmabeständig.In der Halbleiterfertigungsindustrie wird Kyoceras Saphirmaterial mit dem extrem hohen Reinheitsgrad von bis zu 99,99% aufgrund seiner Eigenschaften Plasmabeständigkeit, Hitzebeständigkeit und geringem Partikelausfall erfolgreich eingesetzt. Anwendungen: Verarbeitungskomponenten, Werkzeuge und strukturelle Komponenten.
Merkmale
Temperaturbeständigkeit
Plasmabeständigkeit
Niedriger Dielektrizitätsverlust
Produktspezifikationen
- Material
- Einkristallsaphir
- Genauigkeit
- Standardtoleranz (mm, Nominaldimension: a)
1>a :±0,05 1≦a≦4 :±0,1 4<a≦25 :±0,2 25<a≦102 :±0,25 102<a≦190 :±0,5 190<a :±1
Anwendungen
- Kammerfenster