Heat Dissipation Structure Ceramic Substrates

Chamber Window

Kyoceras hochreines Saphirmaterial: hitze- und plasmabeständig.

In der Halbleiterfertigungsindustrie wird Kyoceras Saphirmaterial mit dem extrem hohen Reinheitsgrad von bis zu 99,99% aufgrund seiner Eigenschaften Plasmabeständigkeit, Hitzebeständigkeit und geringem Partikelausfall erfolgreich eingesetzt. Anwendungen: Verarbeitungskomponenten, Werkzeuge und strukturelle Komponenten.

Merkmale

Temperaturbeständigkeit Plasmabeständigkeit Niedriger Dielektrizitätsverlust

Produktspezifikationen

Material
Einkristallsaphir
Genauigkeit
Standardtoleranz (mm, Nominaldimension: a)
1>a :±0,05
1≦a≦4 :±0,1
4<a≦25 :±0,2
25<a≦102 :±0,25
102<a≦190 :±0,5
190<a :±1

Anwendungen

  • Kammerfenster

Download Katalog / technische Daten

Search