Trägerplatten für GaAs Scheiben
Kyocera bietet ultrareine Trägerplatten aus Saphir für GaAs Wafer.In der Halbleiterfertigungsindustrie wird Kyoceras Saphirmaterial mit dem extrem hohen Reinheitsgrad von bis zu 99,99% aufgrund seiner Eigenschaften Plasmabeständigkeit, Hitzebeständigkeit und geringem Partikelausfall erfolgreich eingesetzt. Anwendungen: Verarbeitungskomponenten, Werkzeuge und strukturelle Komponenten.
Merkmale
Temperaturbeständigkeit
Plasmabeständigkeit
Niedriger Dielektrizitätsverlust
Produktspezifikationen
- Material
- Einkristallsaphir
- Genauigkeit
- Standardtoleranz (mm, Nominaldimension: a)
1＞a : ±0,05 1≦a≦4 : ±0,1 4＜a≦25 : ±0,2 25＜a≦102 : ±0,25 102＜a≦190 : ±0,5 190＜a : ±1
Anwendungen
- Wafer-Transport