Polierplatten
Hochreine Aluminiumoxidkeramiken für ausgezeichnete Steifheit und Abriebfestigkeit.Hochreine Aluminiumoxidkeramiken mit hervorragender Steifheit und sehr guter Abriebfestigkeit für den Waferpolierproszess; sie behalten langfristig eine gute Oberflächenform.
Merkmale
Abriebfestigkeit
Hohe Biegefestigkeit
Chemische Beständigkeit
Produktspezifikationen
- Material
- Aluminiumoxid
- Form
- Konvexe, flache sowie konkave Formen verfügbar.
- Größe
- MAXφ40"
- Genauigkeit
- Ebenheit: 1um oder weniger
Anwendungen
- Polieren von Wafern