Plasmaresistente Materialien
Mit Kyoceras plasmaresistenten Materialien in die nächste Generation der Ätztechnologie.Die nächste Generation der Ätztechnologie wird belastbarere und verlässlichere Materialien benötigen, die aktuelle Probleme wie Plasmakorrosion, das Erzeugen von Partikeln, Metallkontaminerung sowie Sauerstoffspaltung verhindern können. Kyocera bietet plasmaresistente Materialien, die ideal für den Einsatz in der nächsten Generation der Ätztechnologie sind.
Merkmale
Plasmabeständigkeit
Niedriger Dielektrizitätsverlust
Produktspezifikationen
- Material
- Yttriumoxid, Aluminiumoxid
- Form
- Komplexe Formen verfügbar
- Größe
- Geeignet für φ200/300mm Geräte
Anwendungen
- Teile für Ätzkammern