Keramische Kuppeln (Domes) und Kammern
Hohe Strapazierfähigkeit und Plasmabeständigkeit dank hochreiner Materialien.Kyocera bietet keramische Kammern und Kuppeln mit ausgezeichneter Plasmabeständigkeit für die Herstellung Ihrer Wafer bis 300 mm.
Merkmale
Stabile elektrische Eigenschaften
Plasmabeständigkeit
Produktspezifikationen
- Material
- Aluminiumoxid
- Form
- Komplexe Formen verfügbar
- Größe
- Geeignet für φ 200/300 mm Komponenten
Anwendungen
- Teile für Ätzkammern