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Heat Dissipation Structure Ceramic Substrates

Keramische Kuppeln (Domes) und Kammern

Hohe Strapazierfähigkeit und Plasmabeständigkeit dank hochreiner Materialien.

Kyocera bietet keramische Kammern und Kuppeln mit ausgezeichneter Plasmabeständigkeit für die Herstellung Ihrer Wafer bis 300 mm.

Merkmale

Stabile elektrische Eigenschaften Plasmabeständigkeit

Produktspezifikationen

Material
Aluminiumoxid
Form
Komplexe Formen verfügbar
Größe
Geeignet für φ 200/300 mm Komponenten

Anwendungen

  • Teile für Ätzkammern

Zugehörige Informationen

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