Vakuum-Spannvorrichtungen (Chucks), integrierte Spiegel und Komponenten für Positioniertische
Hochpräzise Vakuum-Spannvorrichtungen (Chucks) mit diversen Oberflächenprofilen und -strukturen für unterschiedlichste Betriebsbedingungen.Kyocera fertigt hochpräzise Vakuumchucks mit komplexen Oberflächenprofilen und -strukturen zum Einsatz bei verschiedenen Prozessen, z. B. Halten und Transport von Siliziumscheiben.
Merkmale
Hohe Biegefestigkeit
Hohe Präzision
Geringe Wärmeausdehnung
Produktspezifikationen
- Material
- Aluminiumoxid, Siliziumkarbid, Poröse Materialien, Cordierit
- Form
- Komplexe Oberflächtenprofile sowie -strukturen verfügbar
- Größe
- Geeignet für φ 200/300mm Geräte
- Genauigkeit
- Genauigkeit der Spiegelfäche: λ/20 oder weniger
Reflektionsrate: 95% oder höher
- Sonderverfahren
- PVD/CVD Beschichtung, Spiegelbeschichtung, Verbindungstechnologie
Anwendungen
- Halten und Transport von Siliziumscheiben