Elektrostatische Spannvorrichtungen (Chucks)
Elektrostatische Chucks: plasmabeständig und einsetzbar bei unterschiedlichsten Betriebstemperaturen.In die Keramik ist eine Elektrode eingesintert. Mittels dieser baut sich eine elektrostatische Kraft zwischen dem Chuck und der Silizumscheibe auf. Einsatzgebiete im Halbleiterfertigungsprozess sind Clampen, Ebenheitskorrektur und Kühlung.
Merkmale
Plasmabeständigkeit
Produktspezifikationen
- Material
- Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid
- Größe
- Geeignet für φ 200/300mm Geräte
Anwendungen
- Clampen von Siliziumscheiben / Ebenheitskorrektur / Kühlung