Hochtemperaturheizer
Hochleistungsheizer mit hoher thermischer Leitfähigkeit und Plasmabeständigkeit.Heizer für Siliziumscheiben aus Aluminiumnitrid eignen sich hervoragend für Prozesskammern aufgrund der hohen thermischen Leitfähigkeit und Plasmabeständigkeit. Sie haben einen Reinheitsgrad von über 99,9% und eine gleichmäßige Wärmeverteilung.
Merkmale
Hohe Wärmeleitfähigkeit
Plasmabeständigkeit
Thermische Homogenität
Produktspezifikationen
- Material
- Aluminiumnitrid
- Größe
- Geeignet für φ 200/300mm Geräte
Anwendungen
- Heizer für Si-Wafer bzw. Scheiben