Heat Dissipation Structure Ceramic Substrates

Handling Arme

Wärmebeständige und oberflächenschonende Handling Arms für den hohen Produktionsstandard.

Kyoceras Handling Arme sind wärmebeständig und produktschonend. Dank Beschichtungen wie z. B. DLC (Diamond-Like-Carbon) bieten wir einen Mehrwert indem Schäden und Kontaminierung auf der Oberfäche von Si-Scheiben / Glaspanelen verhindert werden.

Merkmale

Hochtemperaturbeständigkeit

Produktspezifikationen

Material
Aluminiumoxid, Siliziumkarbid
Größe
Geeignet für φ 200/300mm Geräte

Anwendungen

  • Handling von Wafern / Si-Scheiben

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